{"product_id":"shimadzu-tmp-3203-turbo-molecular-pump","title":"Shimadzu TMP-3203 Turbo Molecular Pump","description":"\u003cp\u003eThis \u003cb\u003eShimadzu TMP-3203 turbo molecular pump\u003c\/b\u003e is a powerful and versatile vacuum solution designed for demanding high-vacuum applications. Featuring advanced magnetic levitation technology, it offers superior pumping speeds, oil-free operation, and exceptional reliability for use in semiconductor manufacturing, research, and industrial processes.\u003c\/p\u003e\n\u003chr\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003eKey Features:\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eMagnetic Levitation (MagLev) Technology:\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-129 citation-end-129\"\u003e Eliminates mechanical wear and contamination by levitating the rotor, ensuring an oil-free vacuum and extremely low vibration levels (typically \u003csup class=\"superscript\" data-turn-source-index=\"1\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\" aria-hidden=\"true\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e\u0026lt;\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0.01\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"citation-128 citation-end-128\"\u003e µm single amplitude), leading to extended pump life and minimal maintenance.\u003csup class=\"superscript\" data-turn-source-index=\"2\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eHigh Pumping Speed:\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-127\"\u003e Delivers an impressive pumping speed of \u003c\/span\u003e\u003cb\u003e\u003cspan class=\"citation-127\"\u003e3200 l\/s for N₂\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-127 citation-end-127\"\u003e, and high speeds for He (3000 l\/s) and H₂ (2400 l\/s), enabling rapid evacuation of large volumes and high-throughput processes.\u003csup class=\"superscript\" data-turn-source-index=\"3\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eCorrosion Resistant Variants (LMC):\u003c\/b\u003e Available in LMC configurations with specialized coatings for enhanced resistance to aggressive process gases, suitable for semiconductor etching and deposition applications.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eHigh Reliability:\u003c\/b\u003e Engineered for robust performance and continuous operation in demanding industrial environments.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cspan class=\"citation-126\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cb\u003e\u003cspan class=\"citation-126\"\u003eVersatile Installation:\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-126 citation-end-126\"\u003e Designed to be mounted in any orientation, offering flexibility in system design.\u003csup class=\"superscript\" data-turn-source-index=\"4\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eController (EI-D3203M):\u003c\/b\u003e Often paired with a dedicated Shimadzu controller (like the EI-D3203M) for optimized operation, monitoring, and diagnostics. (Note: This listing assumes the pump is offered with or without a controller; please specify if a controller is included.)\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eSafety Features:\u003c\/b\u003e Incorporates battery-less operation with regenerated power for safe rotor touchdown during power failures, and advanced diagnostic functions.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003chr\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003eSpecifications:\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cdiv class=\"horizontal-scroll-wrapper\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block-component\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block has-export-button\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-content not-end-of-paragraph\" data-hveid=\"0\" data-ved=\"0CAAQ3ecQahgKEwjDpPzdms-PAxUAAAAAHQAAAAAQrQQ\"\u003e\n\u003ctable\u003e\n\u003cthead\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eFeature\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSpecification\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/thead\u003e\n\u003ctbody\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eManufacturer\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eShimadzu Corporation\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eModel\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTMP-3203 (e.g., LM, LMC, M, MC variants)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePumping Speed (N₂)\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e3200 l\/s\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePumping Speed (He)\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e3000 l\/s\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePumping Speed (H₂)\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2400 l\/s\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eInlet Flange\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVG350 \/ ISO320-F \/ ISO320B\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eOutlet Flange\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eKF40\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eUltimate Pressure (after baking)\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eOrder of \u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\" aria-hidden=\"true\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e−8\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e Pa (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\" aria-hidden=\"true\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e−10\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e Torr)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eMax. Inlet Pressure (N₂)\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e40 Pa (0.3 Torr)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eMax. Outlet Pressure\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e270 Pa (2 Torr)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eCompression Ratio (N₂)\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\" aria-hidden=\"true\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e≥\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e9\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eCompression Ratio (He)\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\" aria-hidden=\"true\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e≥\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e3\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e5\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eCompression Ratio (H₂)\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\" aria-hidden=\"true\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e≥\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan 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Time\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eApprox. 13 minutes\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eCooling Method\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eForced Air or Water Cooling (Water cooling recommended)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eWeight\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eApprox. 70 kg (154 lbs)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eRecommended Controller\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eShimadzu EI-D3203M or similar\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eRecommended Purge Gas Flowrate\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e20 - 30 mL\/min\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eRecommended Backing Pump Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\n\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\" aria-hidden=\"true\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e≥\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1500\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e L\/min (for gas purging)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eAmbient Temperature Range\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0 - 40 °C\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/tbody\u003e\n\u003c\/table\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e","brand":"Shimadzu","offers":[{"title":"Default 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