{"product_id":"edwards-stp-ixa3305cp-turbomolecular-pump","title":"Edwards STP-iXA3305CP Turbomolecular Pump","description":"\u003cp\u003eThe Edwards STP-iXA3305CP is a next-generation, high-throughput magnetically levitated turbomolecular pump featuring a fully integrated controller (\"iXA\" series). Delivering 3,300 L\/s class pumping speed, it eliminates the need for a separate rack-mounted controller cabinet, significantly reducing tool footprint and cabling complexity. Engineered for severe chemical process duty (\"CP\" corrosive variant), it incorporates advanced rotor protection, purge gas management, and optimized thermal control to manage heavy process gas loads in aggressive semiconductor etch and CVD environments.\u003c\/p\u003e\n\u003ch4\u003eTechnical Specifications\u003c\/h4\u003e\n\u003cdiv class=\"horizontal-scroll-wrapper\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block-component\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block has-export-button new-table-style is-at-scroll-start is-at-scroll-end\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-content md-content\"\u003e\n\u003ctable\u003e\n\u003cthead\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003e\u003cspan\u003eParameter\u003c\/span\u003e\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003e\u003cspan\u003eSpecification Details\u003c\/span\u003e\u003c\/th\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/thead\u003e\n\u003ctbody\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003ePart Number\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eYT77-0Z-100\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eModel\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eSTP-iXA3305CP\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eInlet Flange\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eVG300 \/ ISO-300F\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eOutlet Flange\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eKF-40 (NW40)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003ePumping Speed (N2)\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e~3,300 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eControl Architecture\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eFully Integrated On-Pump Digital Controller (No External Control Rack)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eBearing System\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e5-Axis Active Magnetic Levitation\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eCooling Method\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eWater Cooled\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eOperating Voltage\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e200–240 VAC, 3-Phase or 1-Phase Configurable\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eDimensions\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eApprox. 21.3\" H x 16.5\" Outer Diameter (540 mm x 420 mm)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eWeight\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e~187 lbs (85 kg)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/tbody\u003e\n\u003c\/table\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003ch4\u003e\u003c\/h4\u003e\n\u003ch4\u003eTarget Applications\u003c\/h4\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003eHigh-Throughput Semiconductor Plasma Etch \u0026amp; CVD\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003eFlat Panel Display (FPD) Vacuum Deposition\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003eSolar Cell Layer Manufacturing\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003eHarsh Corrosive Chemical Process Gas Handling\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e","brand":"Edwards","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":47994281820349,"sku":null,"price":24985.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0662\/1016\/9021\/files\/EdwardsSTP-iXA3305CP_1.jpg?v=1786728588","url":"https:\/\/labvac.com\/products\/edwards-stp-ixa3305cp-turbomolecular-pump","provider":"Labvac","version":"1.0","type":"link"}