{"product_id":"edwards-seiko-seiki-stp-603-turbomolecular-vacuum-pump","title":"Edwards \/ Seiko Seiki STP-603 Turbomolecular Vacuum Pump","description":"\u003cp id=\"p-rc_5cbaa761789a1863-192\"\u003e\u003cspan class=\"citation-476\"\u003eThe \u003c\/span\u003e\u003cb\u003e\u003cspan class=\"citation-476\"\u003eEdwards \/ Seiko Seiki STP-603\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-476 citation-end-476\"\u003e is a medium-capacity, magnetically levitated (Maglev) turbomolecular vacuum pump engineered for high-reliability industrial, analytical, and semiconductor process applications.\u003csup class=\"superscript\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e \u003cspan class=\"citation-475 citation-end-475\"\u003eFeaturing a 5-axis active magnetic bearing suspension system, the STP-603 delivers hydrocarbon-free UHV performance with zero oil backstreaming and minimal operational vibration.\u003csup class=\"superscript\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cdiv class=\"source-inline-chip-container luminous-sources hide-from-message-actions ng-star-inserted\"\u003e\u003c\/div\u003e\n\u003cp id=\"p-rc_5cbaa761789a1863-193\"\u003e\u003cspan class=\"citation-474 citation-end-474\"\u003eThe pump utilizes active rotor position monitoring and dynamic magnetic balancing to ensure smooth acceleration and rotational stability up to 35,000 RPM.\u003csup class=\"superscript\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e \u003cspan class=\"citation-473\"\u003eStandard models feature high compression profiles for UHV research, while \u003c\/span\u003e\u003cb\u003e\u003cspan class=\"citation-473\"\u003e\"C\"\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-473 citation-end-473\"\u003evariants (STP-603C) incorporate protective internal nickel coatings and dedicated purge gas channels designed to resist corrosive process environments.\u003csup class=\"superscript\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cdiv class=\"source-inline-chip-container luminous-sources hide-from-message-actions ng-star-inserted\"\u003e\u003c\/div\u003e\n\u003ch2\u003eTechnical Specifications\u003c\/h2\u003e\n\u003cdiv class=\"horizontal-scroll-wrapper\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block-component\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block has-export-button new-table-style is-at-scroll-start is-at-scroll-end\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-content md-content\"\u003e\n\u003ctable\u003e\n\u003cthead\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003e\u003cspan\u003eParameter\u003c\/span\u003e\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003e\u003cspan\u003eSpecification\u003c\/span\u003e\u003c\/th\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/thead\u003e\n\u003ctbody\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003ePumping Speed (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eN\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t vlist-t2\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e2\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-s\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e)\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e650 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003ePumping Speed (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eH\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t vlist-t2\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e2\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-s\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e)\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e550 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eCompression Ratio (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eN\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t vlist-t2\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e2\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-s\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e)\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e\u0026gt;\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e8\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eCompression Ratio (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eH\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t vlist-t2\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e2\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-s\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e)\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e5\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eUltimate Pressure\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e−10\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord text\"\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e Torr\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1.3\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e−8\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord text\"\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e Pa\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e) on CF flange\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eBearing Type\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e5-Axis Active Magnetic Levitation (Oil-Free)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eRated Rotational Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e35,000 RPM\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eInlet Flange Options\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eISO160-F \/ ISO160-K \/ DN160CF\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eForeline Connection\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eKF40 (NW40)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eRamp-Up Time\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e\u0026lt;\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e6\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord text\"\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e minutes\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eMax Continuous Foreline Pressure\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e0.1 Torr (13 Pa)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eWeight\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e~31 kg (68 lbs)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eRecommended Controller\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eEdwards SCU-800 \/ SCU-750\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/tbody\u003e\n\u003c\/table\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003ch2\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003ch2\u003eKey Features \u0026amp; Lab Benefits\u003c\/h2\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eHydrocarbon-Free Vacuum:\u003c\/b\u003e Active 5-axis magnetic bearings completely suspend the rotor, eliminating mechanical oil lubrication and preventing system contamination in sensitive vacuum chambers.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eLow-Vibration Operation:\u003c\/b\u003e Active magnetic balancing dynamically compensates for minor rotor imbalances, delivering low operational vibration for beamline, electron microscopy, and surface analysis tools.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp id=\"p-rc_5cbaa761789a1863-194\"\u003e\u003cb\u003eCorrosive Gas Protection (\"C\" Series):\u003c\/b\u003e \u003cspan class=\"citation-472 citation-end-472\"\u003eCorrosion-resistant variants (STP-603C) feature internal surface plating and dedicated purge channels to protect coil assemblies from aggressive etch and CVD process chemistries.\u003csup class=\"superscript\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cdiv class=\"source-inline-chip-container luminous-sources hide-from-message-actions ng-star-inserted\"\u003e\u003c\/div\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eOmnidirectional Mounting:\u003c\/b\u003e Magnetically supported rotor system allows installation in horizontal, vertical, or inverted orientations.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e","brand":"Edwards","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":47945202827453,"sku":null,"price":8799.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0662\/1016\/9021\/files\/EdwardsSTP-603_1.jpg?v=1785880350","url":"https:\/\/labvac.com\/products\/edwards-seiko-seiki-stp-603-turbomolecular-vacuum-pump","provider":"Labvac","version":"1.0","type":"link"}