{"product_id":"cti-cryogenics-on-board-8f-low-profile-high-vacuum-cryopump","title":"CTI-Cryogenics On-Board 8F Low-Profile High-Vacuum Cryopump","description":"\u003cp\u003eThe \u003cb\u003eCTI-Cryogenics On-Board 8F\u003c\/b\u003e (Part Number: \u003cb\u003e8112891G002\u003c\/b\u003e) is an 8-inch low-profile (\"Flat\") cryogenic vacuum pump engineered for space-constrained semiconductor, sputtering, and thin-film deposition tools. By mounting the cold head horizontally\/side-mounted relative to the inlet flange, the 8F variant significantly reduces vertical envelope requirements while maintaining full 8-inch high-vacuum performance.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eThis configuration features an integrated microprocessor-driven \u003cb\u003eOn-Board (OB)\u003c\/b\u003e module, providing fully automated regeneration, real-time temperature telemetry, and integrated sensor management without requiring external standalone temperature monitors.\u003c\/p\u003e\n\u003ch2\u003eKey Features \u0026amp; Benefits\u003c\/h2\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eLow-Profile (Flat) Geometry:\u003c\/b\u003e Horizontal vessel design ideal for tight tool side-ports and bottom-mount chamber configurations where vertical clearance is limited.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eAutomated On-Board Control:\u003c\/b\u003e Integrated electronic module manages automated regeneration cycles, purge\/roughing interlocks, and continuous thermal diagnostics.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eHydrocarbon-Free Vacuum:\u003c\/b\u003e Traps water vapor, argon, nitrogen, and hydrocarbons cryogenically to deliver clean ultra-high vacuum (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e\u0026lt;\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1.0\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e−8\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord text\"\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e Torr\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e).\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eProven ISO \/ ANSI Flange Interface:\u003c\/b\u003e Heavy-duty flange construction for reliable, high-vacuum sealing on production-scale process chambers.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eFlexible Tool Integration:\u003c\/b\u003e Direct network interface capability for centralized tool control and remote telemetry monitoring.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch2\u003eTechnical Specifications\u003c\/h2\u003e\n\u003cdiv class=\"horizontal-scroll-wrapper\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block-component\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block has-export-button new-table-style is-at-scroll-start is-at-scroll-end\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-content md-content\"\u003e\n\u003ctable\u003e\n\u003cthead\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003e\u003cspan\u003eParameter\u003c\/span\u003e\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003e\u003cspan\u003eSpecification\u003c\/span\u003e\u003c\/th\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/thead\u003e\n\u003ctbody\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eManufacturer\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eCTI-Cryogenics \/ Brooks Automation \/ Edwards Vacuum\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eModel\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eOn-Board 8F (Low-Profile)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003ePart Number\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e8112891G002\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eFlange Type\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eISO 160 \/ 8-Inch ANSI (Configuration Dependent)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eForeline Flange\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eKF-25 (DN 25 ISO-KF)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eController Type\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eIntegrated On-Board Microprocessor Module\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eWater Vapor (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eH\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t vlist-t2\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e2\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-s\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eO\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e) Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e4,000 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eAir Speed (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eN\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t vlist-t2\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e2\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-s\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e)\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e1,500 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eHydrogen (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eH\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t vlist-t2\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e2\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-s\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e) Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e2,200 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eArgon (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eA\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003er\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e) Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e1,200 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eUltimate Pressure\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e\u0026lt;\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan 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class=\"mord\"\u003e Torr\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eCooled Down Weight\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e~75 – 80 lbs (34 – 36 kg)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eCompatible Compressors\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eCTI 8200, 8500, 9600, 9700, and IS Series\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/tbody\u003e\n\u003c\/table\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e","brand":"Edwards","offers":[{"title":"Default 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