{"title":"Cryogenic Pumos","description":"\u003cp\u003eCryogenic Pumps of all types\u003c\/p\u003e","products":[{"product_id":"cti-cryogenics-cryo-torr-10-high-vacuum-cryopump","title":"CTI-Cryogenics Cryo-Torr 10 High-Vacuum Cryopump","description":"\u003cp id=\"p-rc_403deecb6bb55f83-121\"\u003e\u003cspan class=\"citation-282\"\u003eThe \u003c\/span\u003e\u003cb\u003e\u003cspan class=\"citation-282\"\u003eCTI-Cryogenics Cryo-Torr 10\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-282\"\u003e (Part Number: \u003c\/span\u003e\u003cb\u003e\u003cspan class=\"citation-282\"\u003e8018182G001R\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-282 citation-end-282\"\u003e) is a high-capacity, 10-inch cryogenic vacuum pump engineered for ultra-high vacuum (UHV) applications, semiconductor fabrication, vacuum coating, and demanding R\u0026amp;D environments.\u003csup class=\"superscript\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e \u003cspan class=\"citation-281 citation-end-281\"\u003eOperating on closed-loop helium refrigeration, the Cryo-Torr 10 delivers fast, hydrocarbon-free water vapor and gas pumping without the risk of process contamination.\u003csup class=\"superscript\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cdiv class=\"source-inline-chip-container luminous-sources hide-from-message-actions ng-star-inserted\"\u003e\u003c\/div\u003e\n\u003cp id=\"p-rc_403deecb6bb55f83-122\"\u003e\u003cspan class=\"citation-280\"\u003eThis specific configuration (\u003c\/span\u003e\u003cb\u003e\u003cspan class=\"citation-280\"\u003e8018182\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-280\"\u003e) features an \u003c\/span\u003e\u003cb\u003e\u003cspan class=\"citation-280\"\u003eASA\/ANSI inlet flange\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-280\"\u003e and an integrated \u003c\/span\u003e\u003cb\u003e\u003cspan class=\"citation-280\"\u003esilicon diode temperature sensor\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan class=\"citation-280 citation-end-280\"\u003e for real-time thermal monitoring during cooldown and active operation.\u003csup class=\"superscript\"\u003e\u003c\/sup\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cdiv class=\"source-inline-chip-container luminous-sources hide-from-message-actions ng-star-inserted\"\u003e\u003c\/div\u003e\n\u003ch2\u003eKey Features \u0026amp; Benefits\u003c\/h2\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eClean, Oil-Free High Vacuum:\u003c\/b\u003e Traps water vapor, hydrocarbons, and process gases cryogenically, maintaining an ultra-clean process chamber.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eHigh Pumping Capacity:\u003c\/b\u003e Engineered specifically for heavy-duty production tools requiring high gas throughput, delivering air pumping speeds up to 3,000 L\/s and water vapor pumping up to 9,000 L\/s.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eSilicon Diode Temperature Sensing:\u003c\/b\u003e Equipped with a standard diode temperature sensor (PN 8018182 configuration) compatible with standard CTI and third-party temperature monitors.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eRobust ASA\/ANSI Flange Interface:\u003c\/b\u003e Heavy-duty bolt-circle flange design ensures tight metal-to-metal or elastomer sealing for industrial vacuum chambers.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eLow Maintenance Operation:\u003c\/b\u003e Designed for long service intervals between regeneration cycles, minimizing tool downtime in high-volume manufacturing environments.\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch2\u003eTechnical Specifications\u003c\/h2\u003e\n\u003cdiv class=\"horizontal-scroll-wrapper\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block-component\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-block has-export-button new-table-style is-at-scroll-start is-at-scroll-end\"\u003e\n\u003cdiv class=\"table-content md-content\"\u003e\n\u003ctable\u003e\n\u003cthead\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003e\u003cspan\u003eParameter\u003c\/span\u003e\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003e\u003cspan\u003eSpecification\u003c\/span\u003e\u003c\/th\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/thead\u003e\n\u003ctbody\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eManufacturer\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eCTI-Cryogenics \/ Brooks Automation \/ Helix\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eModel\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eCryo-Torr 10\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003ePart Number\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e8018182G001R (ASA Flange \/ Diode Sensor)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eInlet Flange\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e10-Inch ASA \/ ANSI Flange\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eForeline \/ Exhaust Flange\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eKF-25 (DN 25 ISO-KF)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eTemperature Sensor\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003eStandard Silicon Diode\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eWater Vapor (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eH\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t vlist-t2\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e2\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-s\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eO\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e) Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e9,000 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eAir Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e3,000 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eHydrogen (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eH\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t vlist-t2\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e2\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-s\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e) Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e5,000 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eArgon (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003eA\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord mathnormal\"\u003er\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e) Speed\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e2,500 L\/s\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eBase Pressure\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e\u0026lt;\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1.0\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e−8\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord text\"\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e Torr\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e (\u003cspan class=\"math-inline\"\u003e\u003cspan class=\"katex\"\u003e\u003cspan class=\"katex-html\"\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mrel\"\u003e\u0026lt;\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1.3\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mbin\"\u003e×\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mspace\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"base\"\u003e\u003cspan class=\"strut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e1\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e0\u003cspan class=\"msupsub\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-t\"\u003e\u003cspan class=\"vlist-r\"\u003e\u003cspan class=\"vlist\"\u003e\u003cspan class=\"\"\u003e\u003cspan class=\"pstrut\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"sizing reset-size6 size3 mtight\"\u003e\u003cspan class=\"mord mtight\"\u003e−8\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan class=\"mord text\"\u003e\u003cspan class=\"mord\"\u003e mbar\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eTypical Cooldown Time\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e~100 Minutes\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e\u003cb\u003eWeight\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003cspan\u003e~85 lbs (38.5 kg)\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/tbody\u003e\n\u003c\/table\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e\n\u003c\/div\u003e","brand":"Edwards","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":47949148422333,"sku":null,"price":10495.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0662\/1016\/9021\/files\/CTICryo10Torr_1.jpg?v=1785970229"}],"url":"https:\/\/labvac.com\/collections\/cryogenic-pumos.oembed","provider":"Labvac","version":"1.0","type":"link"}